日本samco紫外線臭氧清洗機(jī)

日本samco紫外線臭氧清洗機(jī) UV-1
概述：
該裝置是一種UV臭氧清洗機(jī)，可以對(duì)各種半導(dǎo)體工藝進(jìn)行干燥處理。可以進(jìn)行有機(jī)物去除和表面改性，例如光刻膠灰化以及硅和藍(lán)寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發(fā)生器和加熱臺(tái)，紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實(shí)現(xiàn)高效的清潔和表面改性，而不會(huì)對(duì)基材造成電氣損壞。

產(chǎn)品型號(hào)：UV-1
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2024-09-04
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日本samco紫外線臭氧清洗機(jī) UV-1

概述：

該裝置是一種UV臭氧清洗機(jī)，可以對(duì)各種半導(dǎo)體工藝進(jìn)行干燥處理?？梢赃M(jìn)行有機(jī)物去除和表面改性，例如光刻膠灰化以及硅和藍(lán)寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發(fā)生器和加熱臺(tái)，紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實(shí)現(xiàn)高效的清潔和表面改性，而不會(huì)對(duì)基材造成電氣損壞。

特征：

-由于同時(shí)使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺(tái)加熱器的熱量，因此可以實(shí)現(xiàn)高效清潔。

-離子或電子不會(huì)對(duì)元件造成損壞。

-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器，因此不需要臭氧處理設(shè)備。

-由于大氣壓處理，不需要真空系統(tǒng)。

日本samco紫外線臭氧清洗機(jī) UV-1

概述：

特征：

-由于同時(shí)使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺(tái)加熱器的熱量，因此可以實(shí)現(xiàn)高效清潔。

-離子或電子不會(huì)對(duì)元件造成損壞。

-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器，因此不需要臭氧處理設(shè)備。

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