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日本yako-sangyo 半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器SUS316L氣體擴(kuò)散器是主要防止負(fù)載鎖定室向大氣開放時(shí)晶圓等受到污染、縮短排氣循環(huán)時(shí)間、提高系統(tǒng)吞吐量的擴(kuò)散器。 ?元件部分SUS316L ?也可用于高溫應(yīng)用。 ?尺寸緊湊，可靠性高，可承受沖擊和振動(dòng)。
產(chǎn)品型號(hào)：SUS316L廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-08-30訪 問 量：611
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日本yako-sangyo 半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器SUS316L
氣體擴(kuò)散器是主要防止負(fù)載鎖定室向大氣開放時(shí)晶圓等受到污染、縮短排氣循環(huán)時(shí)間、提高系統(tǒng)吞吐量的擴(kuò)散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高溫應(yīng)用。
?尺寸緊湊，可靠性高，可承受沖擊和振動(dòng)。
氣體擴(kuò)散器概述
1.流量范圍廣，從 6 到 300 SLPM。
2.與高純度半導(dǎo)體氣體兼容。
3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動(dòng)效率，同時(shí)最大限度地減少壓降。
4.5Ra 電解拋光表面可防止內(nèi)部污染。
5.為了滿足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)，我們?cè)谟萌ルx子水清洗后用高溫氮?dú)膺M(jìn)行烘烤。
日本yako-sangyo 半導(dǎo)體氣體擴(kuò)散器SUS316L
氣體擴(kuò)散器是主要防止負(fù)載鎖定室向大氣開放時(shí)晶圓等受到污染、縮短排氣循環(huán)時(shí)間、提高系統(tǒng)吞吐量的擴(kuò)散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高溫應(yīng)用。
?尺寸緊湊，可靠性高，可承受沖擊和振動(dòng)。
氣體擴(kuò)散器概述
1.流量范圍廣，從 6 到 300 SLPM。
2.與高純度半導(dǎo)體氣體兼容。
3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動(dòng)效率，同時(shí)最大限度地減少壓降。
4.5Ra 電解拋光表面可防止內(nèi)部污染。
5.為了滿足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)，我們?cè)谟萌ルx子水清洗后用高溫氮?dú)膺M(jìn)行烘烤。
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