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更新時(shí)間：2026-01-12 
瀏覽次數(shù)：18產(chǎn)品概述
PF-F系列脫氣模組采用PTFE（聚四氟乙烯）非多孔中空纖維膜，所有與液體接觸部件均為氟樹脂材質(zhì)，可處理酸、堿、有機(jī)溶劑等強(qiáng)腐蝕性液體。其脫氣原理是通過膜內(nèi)外氣體分壓差，在真空條件下將溶解氣體從液體中分離
全系列型號(hào)技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | 流量范圍 | 尺寸（直徑×長度） | 耐壓性 | 溫度 | 接口規(guī)格 |
| ------------- | ------------ | ----------- | --------- | ---- | ------------------------------ |
| PF-3T-S-F | 1-20 mL/min | 29×58×86 mm | 0.2 MPa | 40°C | 液體側(cè): 4×2mm管接頭<br>真空側(cè): 4×2mm管接頭 |
| PF-03F | 1-100 mL/min | φ102×180 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-05F | 1-100 mL/min | φ102×180 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-10F | 1-200 mL/min | φ102×260 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-13F | 1-300 mL/min | φ102×260 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-28F | 1-500 mL/min | φ102×440 mm | 0.294 MPa | 40°C | 3/8" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
低壓損失型（用于高粘度液體）PF-13F(T)：1-500 mL/min，φ102×260 mm，壓力損失降低40%PF-26F(T)：1-500 mL/min，φ140×450 mm，10mm Super Pillar接口主要用途半導(dǎo)體/LCD制造：光刻膠、稀釋劑、顯影液、剝離液等工藝化學(xué)品的脫氣與除泡精密涂層：溶劑型噴墨墨水、功能性涂料的脫氣處理化學(xué)品配送系統(tǒng)：強(qiáng)酸（如HF、H?SO?）、強(qiáng)堿（如TMAH、NMD-3）的連續(xù)脫氣技術(shù)特點(diǎn)化學(xué)兼容性：耐受pH 0-14及絕大多數(shù)有機(jī)溶劑，金屬離子析出 <1 ppb 脫氣效率：在標(biāo)稱流量下，溶解氧（DO）去除率 >95%，CO?去除率 >98%零泄漏設(shè)計(jì)：非多孔膜結(jié)構(gòu)確保液體與真空側(cè)隔離，避免貴重化學(xué)品損失
選型建議小流量/實(shí)驗(yàn)室：PF-3T-S-F（20 mL/min）單點(diǎn)工藝機(jī)臺(tái)：PF-03F/PF-05F（100 mL/min）多機(jī)臺(tái)集中供液：PF-13F/PF-28F（300-500 mL/min）高粘度液體：優(yōu)先選擇PF-13F(T)或PF-26F(T)低壓損失型
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