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更新時(shí)間:2026-01-12
瀏覽次數(shù):18產(chǎn)品概述
PF-F系列脫氣模組采用PTFE(聚四氟乙烯)非多孔中空纖維膜,所有與液體接觸部件均為氟樹脂材質(zhì),可處理酸、堿、有機(jī)溶劑等強(qiáng)腐蝕性液體。其脫氣原理是通過膜內(nèi)外氣體分壓差,在真空條件下將溶解氣體從液體中分離
全系列型號(hào)技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | 流量范圍 | 尺寸(直徑×長度) | 耐壓性 | 溫度 | 接口規(guī)格 |
| ------------- | ------------ | ----------- | --------- | ---- | ------------------------------ |
| PF-3T-S-F | 1-20 mL/min | 29×58×86 mm | 0.2 MPa | 40°C | 液體側(cè): 4×2mm管接頭<br>真空側(cè): 4×2mm管接頭 |
| PF-03F | 1-100 mL/min | φ102×180 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-05F | 1-100 mL/min | φ102×180 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-10F | 1-200 mL/min | φ102×260 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-13F | 1-300 mL/min | φ102×260 mm | 0.294 MPa | 40°C | 1/4" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
| PF-28F | 1-500 mL/min | φ102×440 mm | 0.294 MPa | 40°C | 3/8" Super Pillar<br>Rc 1/8 |
低壓損失型(用于高粘度液體)PF-13F(T):1-500 mL/min,φ102×260 mm,壓力損失降低40%PF-26F(T):1-500 mL/min,φ140×450 mm,10mm Super Pillar接口主要用途半導(dǎo)體/LCD制造:光刻膠、稀釋劑、顯影液、剝離液等工藝化學(xué)品的脫氣與除泡精密涂層:溶劑型噴墨墨水、功能性涂料的脫氣處理化學(xué)品配送系統(tǒng):強(qiáng)酸(如HF、H?SO?)、強(qiáng)堿(如TMAH、NMD-3)的連續(xù)脫氣技術(shù)特點(diǎn)化學(xué)兼容性:耐受pH 0-14及絕大多數(shù)有機(jī)溶劑,金屬離子析出 <1 ppb 脫氣效率:在標(biāo)稱流量下,溶解氧(DO)去除率 >95%,CO?去除率 >98%零泄漏設(shè)計(jì):非多孔膜結(jié)構(gòu)確保液體與真空側(cè)隔離,避免貴重化學(xué)品損失
選型建議小流量/實(shí)驗(yàn)室:PF-3T-S-F(20 mL/min)單點(diǎn)工藝機(jī)臺(tái):PF-03F/PF-05F(100 mL/min)多機(jī)臺(tái)集中供液:PF-13F/PF-28F(300-500 mL/min)高粘度液體:優(yōu)先選擇PF-13F(T)或PF-26F(T)低壓損失型
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